| タイトル | Single-Electron Charge Sensor Self-Aligned to a Quantum Dot Array by Double-Gate Patterning Process for a Large-Scale Silicon Quantum Computer |
| 発表者 | 日立製作所 久野拓馬 |
| 連名者 | （日立）宇津木健、李憲之、土屋龍太、峰利之、新海剛、柳至、斎藤慎一、久本大、水野弘之 （東工大）溝口来成、米田淳、小寺哲夫 |
| 日時 | 2023年6月11日（日） |
| 会場 | 京都市 |
Silicon Nanoelectronics Workshop 2023 (SNW 2023)
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