【口頭発表】Silicon Nanoelectronics Workshop 2023（日立製作所）
タイトル 「Single-Electron Charge Sensor Self-Aligned to a Quantum Dot Array by Double-Gate Patterning Process for a Large-Scale Silicon Quantum Computer」
発表者 日立製作所 久野拓馬
連名者 （日立）宇津木健、李憲之、土屋龍太、峰利之、新海剛、柳至、斎藤慎一、久本大、水野弘之 （東工大）溝口来成、米田淳、小寺哲夫
日時 2023年6月11日（日）
会場 京都市
Silicon Nanoelectronics Workshop 2023 (SNW...
